一種具有清洗功能的半導體晶圓盒

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110332602.7 申請日 -
公開（公告）號 CN113257725A 公開（公告）日 2021-08-13
申請公布號 CN113257725A 申請公布日 2021-08-13
分類號 H01L21/673;B08B5/02;B08B3/02 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 錢誠;李剛;童建 申請（專利權）人 無錫亞電智能裝備有限公司
代理機構 北京商專潤文專利代理事務所（普通合伙） 代理人 陳平
地址 214000 江蘇省無錫市新吳區(qū)菱湖大道111-12號國家軟件園鯨魚座C403
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及一種具有清洗功能的半導體晶圓盒，包括側板和支撐管，支撐管上設置支撐柱且一側設置接頭，清洗液、水、常溫或者加熱后的空氣或者氮氣等流體從接頭經(jīng)過支撐管并從支撐柱處噴出。由于支撐柱作為晶圓片的分割部件，與晶圓片一一對應，因而可以對每個晶圓片均進行清洗，起到了解決晶圓盒內(nèi)多個晶圓片排列時，晶圓片難以清洗干凈的問題。