一種晶圓籃清洗設(shè)備進料機構(gòu)及進料方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010501775.2 申請日 -
公開（公告）號 CN111634687B 公開（公告）日 2021-08-10
申請公布號 CN111634687B 申請公布日 2021-08-10
分類號 B65G49/07;B65G49/06 分類 輸送；包裝；貯存；搬運薄的或細絲狀材料;
發(fā)明人 錢誠;李剛;童建 申請（專利權(quán)）人 無錫亞電智能裝備有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 214000 江蘇省無錫市無錫新吳區(qū)無錫中關(guān)村軟件園30號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及一種晶圓籃清洗設(shè)備進料機構(gòu)，包括：工作臺，第一傳輸組件，第二傳輸組件，感應(yīng)組件；晶圓籃底部鏤空、內(nèi)壁底部成型有定位槽，定位槽與固定晶圓的固定槽一一對應(yīng)設(shè)置，所述感應(yīng)組件包括傾斜滑動塊，以及位于滑動塊頂端的若干平行的感應(yīng)齒和導(dǎo)向齒，所述導(dǎo)向齒在上升時，能夠伸入到位于第三固定座上的晶圓籃的定位槽中，此時放置于固定槽內(nèi)的晶圓會進入相鄰兩個感應(yīng)齒的間隙中，感應(yīng)齒的側(cè)壁上設(shè)置有光電傳感器，用于感應(yīng)相鄰的感應(yīng)齒間隙內(nèi)是否存在晶圓。通過上述設(shè)置，能夠在進行供料前對晶圓籃內(nèi)的晶圓進行一次識別。