一種晶圓籃清洗設(shè)備進(jìn)料機(jī)構(gòu)及進(jìn)料方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010501775.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN111634687A 公開(kāi)（公告）日 2021-08-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN111634687A 申請(qǐng)公布日 2021-08-10
分類號(hào) B65G49/07;B65G49/06 分類 輸送；包裝；貯存；搬運(yùn)薄的或細(xì)絲狀材料;
發(fā)明人 錢(qián)誠(chéng);李剛;童建 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 無(wú)錫亞電智能裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 214000 江蘇省無(wú)錫市無(wú)錫新吳區(qū)無(wú)錫中關(guān)村軟件園30號(hào)樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)涉及一種晶圓籃清洗設(shè)備進(jìn)料機(jī)構(gòu)，包括：工作臺(tái)，第一傳輸組件，第二傳輸組件，感應(yīng)組件；晶圓籃底部鏤空、內(nèi)壁底部成型有定位槽，定位槽與固定晶圓的固定槽一一對(duì)應(yīng)設(shè)置，所述感應(yīng)組件包括傾斜滑動(dòng)塊，以及位于滑動(dòng)塊頂端的若干平行的感應(yīng)齒和導(dǎo)向齒，所述導(dǎo)向齒在上升時(shí)，能夠伸入到位于第三固定座上的晶圓籃的定位槽中，此時(shí)放置于固定槽內(nèi)的晶圓會(huì)進(jìn)入相鄰兩個(gè)感應(yīng)齒的間隙中，感應(yīng)齒的側(cè)壁上設(shè)置有光電傳感器，用于感應(yīng)相鄰的感應(yīng)齒間隙內(nèi)是否存在晶圓。通過(guò)上述設(shè)置，能夠在進(jìn)行供料前對(duì)晶圓籃內(nèi)的晶圓進(jìn)行一次識(shí)別。