晶圓容納盒清洗設(shè)備及晶圓容納盒清洗方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110531540.2 申請日 -
公開（公告）號 CN113289995A 公開（公告）日 2021-08-24
申請公布號 CN113289995A 申請公布日 2021-08-24
分類號 B08B9/08（2006.01）I;B08B9/28（2006.01）I;B08B9/34（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 錢誠;李剛;霍召軍 申請（專利權(quán)）人 無錫亞電智能裝備有限公司
代理機構(gòu) 北京商專潤文專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 陳平
地址 214000江蘇省無錫市新吳區(qū)菱湖大道111-12號國家軟件園鯨魚座C403
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了晶圓容納盒清洗設(shè)備，包括用于盛放清洗晶圓容納盒的清洗槽和管道部件。在清洗過程中，通過管道部件使得晶圓容納盒內(nèi)的清洗液和氣體從晶圓容納盒內(nèi)抽走，防止氣體在晶圓容納盒內(nèi)聚集，從而防止晶圓容納盒浮起，清洗液或者氣體經(jīng)過回水管從清洗噴頭流出后回流到清洗槽內(nèi)，實現(xiàn)清洗液循環(huán)，防止清洗液的浪費。