一種可在線更換籽晶的泡生法藍(lán)寶石晶體生長爐

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201620335490.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN205711032U 公開（公告）日 2016-11-23
申請(qǐng)公布號(hào) CN205711032U 申請(qǐng)公布日 2016-11-23
分類號(hào) C30B17/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 余劍云;李慶躍;李凱;張會(huì)選;徐峰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 寧夏昊晶光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市百瑞專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 黃山市東晶光電科技有限公司;寧夏昊晶光電科技有限公司
地址 245200 安徽省黃山市屯溪區(qū)迎賓大道168號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種可在線更換籽晶的泡生法藍(lán)寶石晶體生長爐，具有主爐腔和副爐腔，所述爐蓋與副爐腔通過電動(dòng)擋板閥隔開，電動(dòng)擋板閥由爐臺(tái)控制系統(tǒng)控制開關(guān)，在副爐腔左面設(shè)有冷卻閥，右面設(shè)有開啟副爐腔的爐門；所述籽晶桿安裝在提拉系統(tǒng)上，并向下延伸依次穿過管體、副爐腔和爐蓋，最終到達(dá)主爐腔的內(nèi)部。使用時(shí)首先緩慢打開電動(dòng)擋板閥，將籽晶桿提升至副爐腔，而后關(guān)閉電動(dòng)擋板閥，對(duì)副爐腔內(nèi)進(jìn)行冷卻，再對(duì)籽晶進(jìn)行更換，最后抽真空、緩慢下降籽晶桿、預(yù)熱籽晶，重新引晶。本實(shí)用新型能夠?qū)崿F(xiàn)在線更換籽晶，具有能耗低、生產(chǎn)成本低的優(yōu)點(diǎn)，與此同時(shí)可有效避免因籽晶問題無法引晶而耽誤生產(chǎn)周期的發(fā)生，確保生產(chǎn)的連續(xù)性。