泡生法生長藍(lán)寶石晶體的自動引晶方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210374391.4 申請日 -
公開（公告）號 CN102877120B 公開（公告）日 2015-04-08
申請公布號 CN102877120B 申請公布日 2015-04-08
分類號 C30B15/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 承剛;李京波;李慶躍;李凱;汪林望;池旭明;夏建白 申請（專利權(quán)）人 寧夏昊晶光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 金華科源專利事務(wù)所有限公司 代理人 浙江東晶光電科技有限公司;寧夏昊晶光電科技有限公司
地址 321016 浙江省金華市秋濱街道花溪路218號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于藍(lán)寶石單晶生長技術(shù)領(lǐng)域，具體是一種泡生法生長藍(lán)寶石晶體的自動引晶方法，其特征在于:引晶運(yùn)行首先將稱重機(jī)構(gòu)自動進(jìn)行歸零；程序通過曲線自動計算出籽晶的重量變化，若此重量變化在10-20g，程序?qū)⑦M(jìn)入自動進(jìn)行拉環(huán)動作，否則程序?qū)⒆詣诱{(diào)節(jié)電壓使晶體重量變化滿足要求；拉環(huán)過程中稱重系統(tǒng)將自動計算晶體重量的變化率，并通過程序自動調(diào)節(jié)電壓，程序繼續(xù)計算變化率，直至晶體重量的變化率控制在0.1g/min至0.5g/min之間時，引晶完成，自動進(jìn)入生長階段。采用本發(fā)明引晶方法生長藍(lán)寶石晶體，爐引晶爐數(shù)不再受引晶工程師數(shù)量的限制，生產(chǎn)規(guī)模可迅速提高，從而節(jié)約大量的人力成本，大大降低生產(chǎn)成本。