一種晶圓結(jié)構(gòu)及光學(xué)生物識別模組

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202220148066.5 申請日 -
公開(公告)號 CN216698282U 公開(公告)日 2022-06-07
申請公布號 CN216698282U 申請公布日 2022-06-07
分類號 H01L21/027(2006.01)I;G06V10/12(2022.01)I;G06V40/13(2022.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 姜桐;黃昊;劉自濤 申請(專利權(quán))人 上海菲戈恩微電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都蓉創(chuàng)智匯知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 200000上海市浦東新區(qū)中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)高斯路497號2層203室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種晶圓結(jié)構(gòu)及光學(xué)生物識別模組,包括晶圓基體和排列在晶圓基體上的若干芯片單元,相鄰兩個芯片單元之間設(shè)置切割道,每1芯片單元包括微透鏡、紅外截止濾光層和消光光闌層,所述切割道上設(shè)置有工藝輔助結(jié)構(gòu)。本實用新型解決了因涂膠不均勻使得結(jié)構(gòu)厚度均勻差,從而導(dǎo)致指紋芯片采集圖像的像素值不均勻的問題。