一種從半導(dǎo)體顯影廢水中回收四甲基氯化銨的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110464087.8 申請日 -
公開（公告）號 CN113200869A 公開（公告）日 2021-08-03
申請公布號 CN113200869A 申請公布日 2021-08-03
分類號 C07C209/86（2006.01）I;C07C211/63（2006.01）I;C02F9/10（2006.01）I;C02F101/36（2006.01）N 分類 有機(jī)化學(xué)〔2〕;
發(fā)明人 仲超;樊振壽;孔磊;王枝松;倪東原 申請（專利權(quán)）人 南京長江江宇環(huán)?？萍脊煞萦邢薰?/a>
代理機(jī)構(gòu) 蘇州市方略專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 朱智杰
地址 210000江蘇省南京市江北新區(qū)長蘆街道普橋路157號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于廢水資源綜合利用技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種從半導(dǎo)體顯影廢水中回收四甲基氯化銨的方法。該方法首先是將四甲基氯化銨廢水過濾后加入減壓蒸餾裝置中進(jìn)行蒸發(fā)結(jié)晶；然后，將清洗劑乙酸乙酯加入蒸發(fā)結(jié)晶后的蒸發(fā)釜內(nèi)進(jìn)行第一次清洗、抽濾；再對第一次清洗所得到的晶體用乙酸乙酯進(jìn)行第二次清洗、抽濾；最后將第二次清洗得到的晶體置于真空干燥箱內(nèi)干燥，干燥后得到白色四甲基氯化銨晶體；本發(fā)明針對四甲基氯化銨廢水蒸發(fā)結(jié)晶出的晶體呈淡黃色的問題，選用合適的清洗劑，得到白色的四甲基氯化銨晶體，實(shí)現(xiàn)了廢水資源的綜合利用。