一種晶圓盒中轉(zhuǎn)輸送裝置及中轉(zhuǎn)輸送方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011636183.8 申請日 -
公開（公告）號 CN112736003A 公開（公告）日 2021-04-30
申請公布號 CN112736003A 申請公布日 2021-04-30
分類號 H01L21/677;H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 盧證凱;鄧信甫;劉大威;陳丁堃 申請（專利權(quán)）人 江蘇啟微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海智力專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 孫金金;周濤
地址 200241 上海市閔行區(qū)紫海路170號1幢3層03室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種晶圓盒中轉(zhuǎn)輸送裝置及中轉(zhuǎn)輸送方法，所述中轉(zhuǎn)輸送裝置包括中轉(zhuǎn)軌道、中轉(zhuǎn)承載板、銜接軌道、銜接滑塊、推動氣缸及推動板，所述中轉(zhuǎn)軌道設(shè)置于晶圓裝載區(qū)域的一側(cè)，所述中轉(zhuǎn)軌道的一端與所述晶圓裝載區(qū)域的晶圓支撐板齊平，所述中轉(zhuǎn)承載板滑動安裝于所述中轉(zhuǎn)軌道上，所述銜接軌道設(shè)置于晶圓支撐板與所述中轉(zhuǎn)軌道之間，所述銜接滑塊滑動安裝于所述銜接軌道上，所述推動氣缸的底座安裝于所述銜接滑塊上，所述推動板通過推動臂安裝于所述推動氣缸的輸出端。本發(fā)明結(jié)構(gòu)緊湊，不引入新的夾持機(jī)構(gòu)，晶圓盒傳輸過程簡單，通過軌道與滑塊的交替協(xié)同作用，連接晶圓盒夾持點(diǎn)位于濕法清洗設(shè)備的裝載區(qū)或卸貨區(qū)，提升了晶圓的清洗效率。