一種超高真空內(nèi)氣體電離裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201910838892.5 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN110699673B | 公開（公告）日 | 2021-06-01 |
| 申請公布號 | CN110699673B | 申請公布日 | 2021-06-01 |
| 分類號 | C23C16/50（2006.01）I;C23C16/28（2006.01）I | 分類 | 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 盧建臣;許望偉;蔡金明 | 申請（專利權）人 | 云天化集團有限責任公司 |
| 代理機構 | 成都東恒知盛知識產(chǎn)權代理事務所（特殊普通合伙） | 代理人 | 何健雄;廖祥文 |
| 地址 | 650000 云南省昆明市一二一大街文昌路68號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種超高真空內(nèi)氣體電離裝置，將氣體傳輸?shù)匠哒婵涨惑w內(nèi)并用熱電離的方式將氣體分子電離。該裝置由氣體導管、電加熱絲、絕緣片、螺桿、電源線、四通腔體、直線導入器組成。電加熱絲固定在絕緣片上，絕緣片固定在螺桿上，螺桿與直線導入器相連接。通過直線導入器，可以使電加熱絲沿螺桿方向自由移動，進而控制加熱絲與目標樣品的距離。電源線一端連接電加熱絲，一端連接在法蘭的電極接線柱上，外接直流源通過電極接線柱為加熱絲供電。使用裝置時，通過直線導入器移動電加熱絲至氣體導管口附近，接通電源加熱電加熱絲，電加熱絲達到使用溫度后，通過氣體導管導入氣體，氣體分子被高溫電加熱絲熱電離成原子或離子。?? |
