一種用于真空磁控濺射類純金色金合金靶材及其制備方法
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN201811066522.6 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN108754211A | 公開(公告)日 | 2018-11-06 |
申請公布號 | CN108754211A | 申請公布日 | 2018-11-06 |
分類號 | C22C5/02;C22C1/02;C22F1/02;C22F1/14;C23C14/14;C23C14/35 | 分類 | 冶金;黑色或有色金屬合金;合金或有色金屬的處理; |
發(fā)明人 | 趙宏達(dá);柳泉;常占河;劉革;于志凱 | 申請(專利權(quán))人 | 沈陽東創(chuàng)貴金屬材料有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 沈陽東大知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 沈陽東創(chuàng)貴金屬材料有限公司 |
地址 | 110015 遼寧省沈陽市沈河區(qū)文化東路89號 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明一種用于真空磁控濺射類純金色金合金靶材及其制備方法,該金合金靶材按照質(zhì)量百分比的化學(xué)組成為Au97.0~99%,Cu0.5~1.7%,Zn0.4~1.0%,Ag0.05~0.2%,Nd0.03~0.05%,Si0.02~0.05%。制備步驟為:按配比準(zhǔn)備Au,Cu,Zn,Ag,Nd和Si作為原料;將Au加熱熔化后,向熔化后Au中依次加入Cu、Ag、Si和Nd進(jìn)行熔化,待以上合金元素均熔化后,加入Zn;Zn熔入合金后保溫精煉使其均勻,獲得精煉后合金,澆入到銅模中,冷卻至室溫,獲得合金鑄錠;將合金鑄錠經(jīng)過真空均勻化退火、軋制、沖壓和表面處理,獲得用于真空磁控濺射類純金色金合金靶材,其色度值為:L=88.0~89.0,a*值=6.8~8.3,b*值=33.0~35.0,硬度值為85~126Hv。 |
