一種基于氧化硅矩形光波導(dǎo)的集成光收發(fā)模塊及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710402720.4 申請日 -
公開（公告）號 CN108988950A 公開（公告）日 2018-12-11
申請公布號 CN108988950A 申請公布日 2018-12-11
分類號 H04B10/40;H04B10/25;H04Q11/00 分類 電通信技術(shù);
發(fā)明人 劉柳;周旋;時堯成 申請（專利權(quán)）人 紹興柯芯光電技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 312000 浙江省紹興市柯橋區(qū)科技園辦公樓A幢603-604室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基于氧化硅矩形光波導(dǎo)的集成光收發(fā)模塊及其制備方法，包括至少一個具有四個45°拋光內(nèi)端面的矩形氧化硅光波導(dǎo)、至少一個垂直腔面激光器和至少一個光子探測器，其制備方法為：利用45°刀頭將矩形波導(dǎo)切割成三段，由劃片機在芯片上切割出四個45°內(nèi)端面；采用真空電子束熱蒸發(fā)等對應(yīng)工藝鍍上布拉格反射膜、金屬膜以及金屬導(dǎo)線和焊點；再用折射率匹配膠將切割鍍膜后的矩形波導(dǎo)粘合，同時在內(nèi)端面狹縫上方一定區(qū)域涂上匹配膠；最后通過倒裝焊接的方法，將垂直腔面激光器和光子探測器分別與對應(yīng)的金屬電極焊接，集成于內(nèi)端面狹縫之上，本發(fā)明低成本，高速率，可實現(xiàn)多通道傳輸數(shù)據(jù)。