晶圓盒輸送裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710149815.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN106876312A 公開(kāi)(公告)日 2017-06-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN106876312A 申請(qǐng)公布日 2017-06-20
分類(lèi)號(hào) H01L21/677(2006.01)I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 吳功 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 大族激光科技產(chǎn)業(yè)集團(tuán)股份有限公司上海分公司
代理機(jī)構(gòu) 上海翰信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 大族激光科技產(chǎn)業(yè)集團(tuán)股份有限公司上海分公司;上海大族富創(chuàng)得科技有限公司
地址 201114 上海市閔行區(qū)蘇召路1628號(hào)2幢1034室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明揭示了一種晶圓盒輸送裝置,包括承載機(jī)構(gòu)、平移機(jī)構(gòu)和輸送機(jī)構(gòu),其中,承載機(jī)構(gòu)用于放置晶圓盒,平移機(jī)構(gòu)用于帶動(dòng)所述承載機(jī)構(gòu)分別在第一軸方向、第二軸方向和第三軸方向平移,輸送機(jī)構(gòu)用于輸送平移機(jī)構(gòu),第一軸方向、第二軸方向和第三軸方向構(gòu)成空間笛卡爾直角坐標(biāo)系或空間笛卡爾斜角坐標(biāo)系,通過(guò)了承載機(jī)構(gòu)和輸送機(jī)構(gòu)結(jié)合的方式,直接由輸送機(jī)構(gòu)移至開(kāi)門(mén)器前,并通過(guò)平移機(jī)構(gòu)將晶圓盒準(zhǔn)確的送到開(kāi)門(mén)器上,因此省去了人工或機(jī)械搬運(yùn)晶圓盒之一步驟,提高了效率,降低了成本,且自動(dòng)化程度高。