全封閉式SMIF系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710192002.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN106684023A 公開（公告）日 2017-05-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN106684023A 申請(qǐng)公布日 2017-05-17
分類號(hào) H01L21/677(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 吳功 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 大族激光科技產(chǎn)業(yè)集團(tuán)股份有限公司上海分公司
代理機(jī)構(gòu) 上海翰信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張維東;宋力
地址 201114 上海市閔行區(qū)蘇召路1628號(hào)2幢1034室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種全封閉式SMIF系統(tǒng)，因?yàn)榍斑M(jìn)板上設(shè)置有第一氣嘴孔，承載平臺(tái)上安裝有氣嘴，容器底部設(shè)置有進(jìn)氣孔和壓力排氣閥，能夠?qū)⑷萜鲀?nèi)的氣體置換；安裝板與盒體側(cè)面之間設(shè)置有第一密封圈，增加了系統(tǒng)的密封性；安裝板的操作口的四邊設(shè)置有第二密封圈，當(dāng)前進(jìn)板帶動(dòng)容器移動(dòng)到操作位置時(shí)，容器與第二密封圈接觸，增加了容器與安裝板從操作口之間的密封性；開盒板朝向容器一面設(shè)置有第三密封圈，增加了開盒板與安裝板的操作口之間的密封性；開盒部、升降部、檢測(cè)部均設(shè)置在盒體內(nèi)，方便維修，因此，本發(fā)明的全封閉式SMIF系統(tǒng)密封性能好，能夠較好的避免盒體內(nèi)的環(huán)境和盒體外的環(huán)境之間粉塵、氣體、水蒸氣等的交換。