全封閉式SMIF系統(tǒng)
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201710192002.9 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(公告)號(hào) | CN106684023A | 公開(公告)日 | 2017-05-17 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN106684023A | 申請(qǐng)公布日 | 2017-05-17 |
分類號(hào) | H01L21/677(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
發(fā)明人 | 吳功 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 大族激光科技產(chǎn)業(yè)集團(tuán)股份有限公司上海分公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 上海翰信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) | 代理人 | 張維東;宋力 |
地址 | 201114 上海市閔行區(qū)蘇召路1628號(hào)2幢1034室 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明提供了一種全封閉式SMIF系統(tǒng),因?yàn)榍斑M(jìn)板上設(shè)置有第一氣嘴孔,承載平臺(tái)上安裝有氣嘴,容器底部設(shè)置有進(jìn)氣孔和壓力排氣閥,能夠?qū)⑷萜鲀?nèi)的氣體置換;安裝板與盒體側(cè)面之間設(shè)置有第一密封圈,增加了系統(tǒng)的密封性;安裝板的操作口的四邊設(shè)置有第二密封圈,當(dāng)前進(jìn)板帶動(dòng)容器移動(dòng)到操作位置時(shí),容器與第二密封圈接觸,增加了容器與安裝板從操作口之間的密封性;開盒板朝向容器一面設(shè)置有第三密封圈,增加了開盒板與安裝板的操作口之間的密封性;開盒部、升降部、檢測(cè)部均設(shè)置在盒體內(nèi),方便維修,因此,本發(fā)明的全封閉式SMIF系統(tǒng)密封性能好,能夠較好的避免盒體內(nèi)的環(huán)境和盒體外的環(huán)境之間粉塵、氣體、水蒸氣等的交換。 |
