一種高精度石墨烯傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020653819.9 申請日 -
公開（公告）號 CN211977951U 公開（公告）日 2020-11-20
申請公布號 CN211977951U 申請公布日 2020-11-20
分類號 G01D5/12(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 閆海鵬;盧旺達(dá) 申請（專利權(quán)）人 華鷹電機(jī)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 061000河北省滄州市渤海新區(qū)科創(chuàng)園A座一層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種高精度石墨烯傳感器，包括石墨烯傳感器本體，石墨烯傳感器本體包括敏感層，所述敏感層的底部固定連接有導(dǎo)熱層，所述導(dǎo)熱層的底部固定連接有電絕緣層，所述電絕緣層的底部固定連接有耐腐蝕層，所述耐腐蝕層的底部固定連接有硅基底層，所述敏感層為單原子層石墨烯薄膜，所述敏感層的兩端分別設(shè)有一個金屬導(dǎo)電電極。本實用新型通過石墨烯傳感器本體、敏感層、導(dǎo)熱層、電絕緣層、耐腐蝕層和硅基底層的配合使用，使傳感器變的更小、更輕，更靈敏，能夠檢測到更小的變化，工作更快速，解決了現(xiàn)有傳感器由于制造材料的限制，導(dǎo)致傳感器的精度不夠，給人們的使用帶來不便的問題。??