一種雙層冷卻夾套的甲硅烷熱分解爐及生產(chǎn)工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811188965.2 申請日 -
公開（公告）號 CN109354023B 公開（公告）日 2022-01-25
申請公布號 CN109354023B 申請公布日 2022-01-25
分類號 C01B33/035（2006.01）I 分類 無機化學;
發(fā)明人 沈劍;梁正;王宇光;劉明亮;李全;周曉燕;張艾民;李國華;閆炳利;柴新剛;衛(wèi)維劍;孟啟貴;張建五;孟國均;蔡前進 申請（專利權）人 中國化學賽鼎寧波工程有限公司
代理機構 廣州市越秀區(qū)哲力專利商標事務所（普通合伙） 代理人 胡擁軍;糜婧
地址 315000浙江省寧波市寧波高新區(qū)光華路300號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明的一種雙層冷卻夾套的甲硅烷熱分解爐及生產(chǎn)工藝，其特征在于所述的熱分解爐由鐘罩、底板、硅棒、夾套蓋板、外冷卻夾套和內(nèi)冷卻夾套構成。本發(fā)明的一種雙層冷卻夾套的甲硅烷熱分解爐及生產(chǎn)工藝通過在硅棒外設置雙層冷卻夾套，利用雙層夾套之間的冷卻空隙中的冷氣通過在內(nèi)層夾套上部開孔，將更多的冷量提供給夾套內(nèi)上部，實現(xiàn)夾套內(nèi)上下溫度的均勻性，保證硅棒生長的均勻性；采用向下噴射原料氣的原料氣進口管強化爐內(nèi)流動，有利于消除局部SiH4濃度過高的現(xiàn)象。