一種具有循環(huán)過(guò)濾功能的堿拋清洗設(shè)備及其使用方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110565052.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN113290005A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-08-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113290005A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-08-24 |
| 分類號(hào) | B08B11/00（2006.01）I;B08B11/02（2006.01）I;B08B3/02（2006.01）I;B08B3/08（2006.01）I;B08B3/14（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分類 | 清潔; |
| 發(fā)明人 | 顧輝;黃調(diào)調(diào);李祥;李健 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 浙江鴻禧能源股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京同輝知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 饒富春 |
| 地址 | 314000浙江省嘉興市平湖市新倉(cāng)鎮(zhèn)廣全線聯(lián)盟段283號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)一種具有循環(huán)過(guò)濾功能的堿拋清洗設(shè)備及其使用方法，屬于硅片清洗領(lǐng)域；一種具有循環(huán)過(guò)濾功能的堿拋清洗設(shè)備包括傾斜機(jī)構(gòu)、箱體、往復(fù)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、打散機(jī)構(gòu)以及清洗機(jī)構(gòu)；通過(guò)設(shè)置傾斜機(jī)構(gòu)來(lái)使箱體傾斜，箱體內(nèi)液體能夠集中流向收納箱，并完成過(guò)濾和循環(huán)使用；通過(guò)往復(fù)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)來(lái)控制硅片在堿拋和清洗兩個(gè)工位來(lái)回運(yùn)動(dòng)，使得硅片每次完成堿拋后都能完成清洗，避免硅片表面上的雜質(zhì)堆積沒(méi)影響堿拋效果；通過(guò)設(shè)置打散機(jī)構(gòu)，來(lái)實(shí)現(xiàn)硅片沖洗之前對(duì)其表面上的絮狀膠體進(jìn)行打散，便于清洗機(jī)構(gòu)將絮狀膠體的沖洗掉；一種具有循環(huán)過(guò)濾功能的堿拋清洗設(shè)備的使用方法包括夾持調(diào)整、傾角調(diào)整、沖洗角度調(diào)整以及堿拋清洗。 |
