切削懸浮液回收的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200610058747.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN101032806B 公開（公告）日 2011-03-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN101032806B 申請(qǐng)公布日 2011-03-16
分類號(hào) B24C9/00(2006.01)I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 張捷平 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇華研精粹新能源有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 100083 北京市海淀區(qū)學(xué)院路丁-11號(hào)西二樓1301室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種切削廢懸浮液回收的方法，其特征在于將硅晶片加工工藝中的線切削廢砂漿進(jìn)行多步驟處理，包括如下步驟：固相物的去除、初液中小顆粒物的去除、金屬微粒的去除、懸浮液水分去除。本發(fā)明的方法使每次回收的聚乙二醇(PEG)基或油基懸浮液達(dá)到與全新原料相同或相近的性能指標(biāo)，同時(shí)懸浮液的回收率可達(dá)90％，且可100％替代新料實(shí)現(xiàn)再次使用使通過該方法可以實(shí)現(xiàn)同一批料多次回收循環(huán)再利用的目的，不僅最大限度地提高了原材料的使用效率，降低了硅片的生產(chǎn)成本，而且避免了廢砂漿排放給環(huán)境造成的污染。