一種去除單多晶硅切削液中微量水分的方法和裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410285851.5 申請日 -
公開（公告）號 CN105214338A 公開（公告）日 2016-01-06
申請公布號 CN105214338A 申請公布日 2016-01-06
分類號 B01D15/08(2006.01)I;C10M177/00(2006.01)I;C10M175/00(2006.01)I 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 曾憲偉 申請（專利權(quán)）人 江蘇華研精粹新能源有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 226300 江蘇省南通市通州濱海新區(qū)北區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種去除單多晶硅切削液中微量水分的方法和裝置，利用離心泵將含有微量水分的切削液從進(jìn)料管送入內(nèi)裝干燥劑的干燥裝置，切削液與干燥裝置中的干燥劑進(jìn)行充分交換后，從出料管排出含水率合格的切削液，所述干燥劑為分子篩或氧化鋁微球中混入少量變色硅膠，當(dāng)變色硅膠徹底變?yōu)榧t色時，向干燥裝置中通入溫度為120℃的熱干空氣對干燥劑進(jìn)行干燥再生處理。本發(fā)明具有方法簡便、裝置簡單、脫水效果好、干燥劑可反復(fù)再生使用、降低企業(yè)能耗等優(yōu)點(diǎn)。