一種超精密化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201220084339.0 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN202540126U 公開（公告）日 2012-11-21
申請公布號(hào) CN202540126U 申請公布日 2012-11-21
分類號(hào) B24B37/04(2012.01)I;B24B37/26(2012.01)I;B24B37/34(2012.01)I;B24B57/02(2006.01)I;H01L33/00(2010.01)I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 胡雪濤 申請（專利權(quán)）人 無錫元明機(jī)械設(shè)備技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 214037 江蘇省無錫市金山北新材料科技園金山四支路9號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種超精密化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)，在機(jī)架上轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有轉(zhuǎn)軸，在轉(zhuǎn)軸的頂端部固定有拋光臺(tái)，在拋光臺(tái)的上表面固定有水晶拋光墊，在水晶拋光墊上方設(shè)有磨料供給機(jī)構(gòu)；在機(jī)械臂上通過膠輪安裝有固定環(huán)，在固定環(huán)內(nèi)設(shè)有襯底固定盤，在襯底固定盤上方設(shè)有將襯底固定盤固定的藍(lán)寶石襯底壓向水晶拋光墊的加壓機(jī)構(gòu)；所述水晶拋光墊由多個(gè)厚度相同的水晶片用紫外膠粘附在拋光臺(tái)的上表面上，相鄰兩片水晶片之間的間隙為0.5～2mm。本實(shí)用新型拋光后藍(lán)寶石襯底平面度小于5um，表面粗糙度小于0.3nm，且襯底表面無復(fù)雜生成物，無需進(jìn)行復(fù)雜的后清洗，既節(jié)約成本，又提高了成品率。