研磨拋光頭支撐裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201320636756.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN203600043U 公開(kāi)（公告）日 2014-05-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN203600043U 申請(qǐng)公布日 2014-05-21
分類號(hào) B24B37/34(2012.01)I;B24B37/04(2012.01)I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 唐丹;方建東;楊寧;孫曉曉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 無(wú)錫元明機(jī)械設(shè)備技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 無(wú)錫市大為專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 無(wú)錫元明機(jī)械設(shè)備技術(shù)有限公司
地址 214037 江蘇省無(wú)錫市北塘區(qū)江海西路金山北科技園金山四支路9號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種研磨拋光頭支撐裝置，包括拋光機(jī)機(jī)架，拋光機(jī)機(jī)架上安裝立柱，立柱的上部安裝機(jī)頂；特征是：在所述機(jī)頂?shù)牡酌嫔显O(shè)置凸臺(tái)，凸臺(tái)中間設(shè)置通孔，凸臺(tái)與連接板螺接，連接板與設(shè)置在凸臺(tái)中間通孔的導(dǎo)套螺接，導(dǎo)套與研磨拋光頭套接。在所述立柱與機(jī)頂?shù)酌孢B接處的內(nèi)外側(cè)分別設(shè)置上鎖緊螺母和下鎖緊螺母。在所述上鎖緊螺母上沿圓周方向均勻分布三個(gè)或三個(gè)以上螺紋孔，在螺紋孔中設(shè)置螺釘。本實(shí)用新型通過(guò)導(dǎo)套與連接板、連接板與機(jī)頂?shù)牡酌嫱古_(tái)的緊密配合，可保證連接于導(dǎo)套下側(cè)的研磨拋光頭上下移動(dòng)的豎直精度，達(dá)到研磨拋光頭對(duì)晶片均勻施力的目的。