一種全固態(tài)薄膜電池中的負(fù)極材料CrN及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200710072320.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN101066843B 公開(kāi)（公告）日 2010-07-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN101066843B 申請(qǐng)公布日 2010-07-28
分類號(hào) C03C17/22(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;H01M4/58(2006.01)I 分類 玻璃；礦棉或渣棉;
發(fā)明人 王其冬;沈功燦;孫乾;傅正文 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 寧波杉杉創(chuàng)業(yè)投資有限公司
代理機(jī)構(gòu) 哈爾濱市哈科專利事務(wù)所有限責(zé)任公司 代理人 祖玉清
地址 315177 浙江省寧波市望春工業(yè)園區(qū)杉杉路1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供的是一種全固態(tài)薄膜電池中的負(fù)極材料CrN及其制備方法。濺射腔由一個(gè)渦輪分子泵和一個(gè)機(jī)械泵抽真空直到小于0.5mPa，采用金屬鉻作為濺射靶，氮?dú)庾鳛榉磻?yīng)氣體，不銹鋼片和/或玻璃為基片，氣體壓強(qiáng)保持在0.2Pa-3.0Pa，濺射電源的功率為30瓦-200瓦，并且保持基片與靶之間的距離為5厘米-10厘米，基片溫度為100℃-400℃，濺射沉積時(shí)間為1-20小時(shí)形成CrN薄膜。CrN薄膜是一種新型的負(fù)極材料，可應(yīng)用于全固態(tài)薄膜鋰離子電池。具有比容量高，循環(huán)壽命長(zhǎng)，不可逆容量損失少等優(yōu)點(diǎn)。