一種全固態(tài)薄膜電池中的負極材料CrN及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200710072320.8 申請日 -
公開（公告）號 CN101066843A 公開（公告）日 2007-11-07
申請公布號 CN101066843A 申請公布日 2007-11-07
分類號 C03C17/22(2006.01);C23C14/35(2006.01);C23C14/06(2006.01);H01M4/58(2006.01) 分類 玻璃；礦棉或渣棉;
發(fā)明人 王其冬;沈功燦;孫乾;傅正文 申請（專利權(quán)）人 寧波杉杉創(chuàng)業(yè)投資有限公司
代理機構(gòu) 哈爾濱市哈科專利事務(wù)所有限責(zé)任公司 代理人 祖玉清
地址 315177浙江省寧波市望春工業(yè)園區(qū)杉杉路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供的是一種全固態(tài)薄膜電池中的負極材料CrN及其制備方法。濺射腔由一個渦輪分子泵和一個機械泵抽真空直到小于0.5MPa，采用金屬鉻作為濺射靶，氮氣作為反應(yīng)氣體，不銹鋼片和/或玻璃為基片，氣體壓強保持在0.2Pa－3.0Pa，濺射電源的功率為30瓦－200瓦，并且保持基片與靶之間的距離為5厘米－10厘米，基片溫度為100℃－400℃，濺射沉積時間為1－20小時形成CrN薄膜。CrN薄膜是一種新型的負極材料，可應(yīng)用于全固態(tài)薄膜鋰離子電池。具有比容量高，循環(huán)壽命長，不可逆容量損失少等優(yōu)點。