一種研磨機晶圓放反報警系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201820428265.5 申請日 -
公開（公告）號 CN208368469U 公開（公告）日 2019-01-11
申請公布號 CN208368469U 申請公布日 2019-01-11
分類號 H01L21/304;H01L21/66 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 楊聯(lián)富 申請（專利權）人 日月光封裝測試（上海）有限公司
代理機構 北京律盟知識產權代理有限責任公司 代理人 林斯凱
地址 201203 上海市浦東新區(qū)中國（上海）自由貿易試驗區(qū)郭守敬路669號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及研磨機晶圓放反報警系統(tǒng)。根據(jù)本實用新型的一實施例，晶圓檢測系統(tǒng)包含晶圓，所述晶圓具有正面和與所述正面相對的反面，其中所述正面具有電路圖案；以及光學檢測器，其安置于所述晶圓下方且不與所述晶圓接觸，所述光學檢測器經(jīng)配置以接收從晶圓表面射出的光線，并確定面向所述光學檢測器的所述晶圓表面是所述晶圓的所述正面。本實用新型的研磨機晶圓放反報警系統(tǒng)及方法有效改善因操作人員將晶圓放反而造成的高額經(jīng)濟損失。