一種用于金剛石刀具修正的裝置及方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911299144.0 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN112975597A 公開(公告)日 2021-06-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN112975597A 申請(qǐng)公布日 2021-06-18
分類號(hào) B24B3/00;B24B49/00 分類 磨削;拋光;
發(fā)明人 朱秦發(fā);庫(kù)黎明;張雷;楊衛(wèi)國(guó);張文齊;李亞光 申請(qǐng)(專利權(quán))人 有研半導(dǎo)體硅材料股份公司
代理機(jī)構(gòu) 北京北新智誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉秀青
地址 101300 北京市順義區(qū)林河工業(yè)開發(fā)區(qū)雙河路南側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于金剛石刀具修正的裝置及方法。裝置包括修刀砂輪、底座、驅(qū)動(dòng)電機(jī);修刀砂輪中間為中空、底部帶安裝卡扣,通過(guò)螺母直接固定在底座上,驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)底座旋轉(zhuǎn)同時(shí)帶動(dòng)修刀砂輪旋轉(zhuǎn)。采用該裝置進(jìn)行金剛石刀具修正的方法包括以下步驟:(1)將修刀砂輪固定在底座上,使修刀砂輪完全濕潤(rùn);(2)在加工中心上確定坐標(biāo)系位置,確定待修正刀具底到修刀砂輪表面的距離;(3)打開驅(qū)動(dòng)電機(jī),底座帶動(dòng)修刀砂輪旋轉(zhuǎn),啟動(dòng)修刀程序,待修正刀具在修刀砂輪表面進(jìn)行往復(fù)移動(dòng);(4)刀具修正完成后,進(jìn)行超聲清洗,煮沸去除油污和表面碎渣。通過(guò)本發(fā)明的裝置及方法可以獲得刀具表面的垂直度和平面度以及表面光潔度的大幅度提升改善。