一種用于重摻銻直拉單晶硅的摻雜裝置及摻雜方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911264374.3 申請日 -
公開（公告）號 CN112941617A 公開（公告）日 2021-06-11
申請公布號 CN112941617A 申請公布日 2021-06-11
分類號 C30B15/04;C30B29/06 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 王萬華;李超;鄭沉;崔彬;李英濤;方峰 申請（專利權）人 有研半導體硅材料股份公司
代理機構 北京北新智誠知識產權代理有限公司 代理人 劉秀青
地址 101300 北京市順義區(qū)林河工業(yè)開發(fā)區(qū)雙河路南側
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于重摻銻直拉單晶硅的摻雜裝置及摻雜方法。該摻雜裝置由透明的石英玻璃制成，包括固定支架、盛銻的石英杯和底托；所述固定支架包括固定環(huán)和連接桿，該固定環(huán)為圓形，固定環(huán)上設有缺口，并通過該缺口插接固定在籽晶夾頭上方；所述石英杯的上部為圓筒形，下部為漏斗形且由五個小漏斗構成；所述石英杯的上端開口，下端在每個小漏斗底部設有通孔；所述底托由四根圓柱形石英棒構成，各個石英棒相互對稱地連接在石英杯的外壁上。本發(fā)明的摻雜裝置在摻雜過程中優(yōu)點在于：可以直接固定在籽晶夾頭上方，不用拆裝籽晶和連接器，石英杯下部有五個通孔，縮短了摻雜的時間；底托石英棒下端與石英杯下端的距離固定，提高摻雜穩(wěn)定性。