一種延長拋光布使用壽命的處理方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811529111.6 申請日 -
公開（公告）號 CN111318964B 公開（公告）日 2021-06-22
申請公布號 CN111318964B 申請公布日 2021-06-22
分類號 B24B53/017 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 林霖;史訓達;李彥君;劉云霞;陳克強;楊少昆;周瑩瑩;李奇 申請（專利權(quán)）人 有研半導體硅材料股份公司
代理機構(gòu) 北京北新智誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉秀青
地址 101300 北京市順義區(qū)林河工業(yè)開發(fā)區(qū)雙河路南側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種延長拋光布使用壽命的處理方法，包括以下步驟：(1)刷盤刷布：將刷盤放置在貼好拋光布的拋光機盤面上，用拋光機的壓力頭壓住刷盤，刷盤與拋光機大盤旋轉(zhuǎn)方向相同；(2)高壓水沖洗：用高壓水沖洗拋光布表面，用高壓水把整張拋光布沖洗一遍；(3)修整環(huán)研磨：將修整環(huán)放置在拋光布上，用拋光機的壓力頭壓住修整環(huán)，修整環(huán)與拋光機大盤旋轉(zhuǎn)方向相同，修整環(huán)研磨拋光布的時間為10s～5min；然后使修整環(huán)與拋光機大盤旋轉(zhuǎn)方向相反，壓力范圍、轉(zhuǎn)速范圍和超純水流量范圍都不變，繼續(xù)研磨拋光布10s～5min。本發(fā)明的方法對拋光布使用壽命的延長效果非常顯著，可有效延長拋光布的使用壽命，且始終不會影響硅襯底拋光片的幾何形貌水平。