一種延長(zhǎng)石墨坩堝使用壽命的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911270089.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112941618A 公開（公告）日 2021-06-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN112941618A 申請(qǐng)公布日 2021-06-11
分類號(hào) C30B15/10;C30B29/06 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 王雅楠;劉卓;蓋晶虎;謝輝;姜艦;張歡;翟順元 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 有研半導(dǎo)體硅材料股份公司
代理機(jī)構(gòu) 北京北新智誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉秀青
地址 101300 北京市順義區(qū)林河工業(yè)開發(fā)區(qū)雙河路南側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種延長(zhǎng)石墨坩堝使用壽命的方法，該方法包括對(duì)石墨坩堝進(jìn)行以下加工設(shè)計(jì)：預(yù)先將相鄰兩個(gè)石墨坩堝瓣的接縫位置處的坩堝內(nèi)壁加工出凹槽，在該凹槽內(nèi)設(shè)置可拆卸的石墨保護(hù)條，該石墨保護(hù)的尺寸與該凹槽的尺寸匹配；石墨坩堝使用一段時(shí)間后，將石墨條取下，如有損耗，進(jìn)行更換。石墨坩堝與石墨保護(hù)條的組裝方式為：分別在石墨坩堝瓣側(cè)邊緣的上端位置開設(shè)插孔，所述石墨保護(hù)條的一側(cè)具有與石墨坩堝內(nèi)壁匹配的弧形面，該石墨保護(hù)條的上端向另一側(cè)面方向突出，并在該突出的部分下端設(shè)有兩個(gè)插接棒，該兩個(gè)插接棒分別插入相鄰兩個(gè)石墨坩堝瓣上端的插孔內(nèi)。本發(fā)明能夠有效阻止石墨坩堝接口處的損耗，延長(zhǎng)石墨坩堝的使用壽命。