一種掩膜版玻璃基板的清洗方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810890472.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN109047160A 公開（公告）日 2018-12-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN109047160A 申請(qǐng)公布日 2018-12-21
分類號(hào) B08B3/08;B08B3/12;B08B3/04 分類 清潔;
發(fā)明人 李翼;李偉;徐根;張誠(chéng);周學(xué)文 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 湖南普照信息材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 湖南普照信息材料有限公司
地址 410205 湖南省長(zhǎng)沙市岳麓區(qū)麓楓路40號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種掩膜版玻璃基板的清洗方法，首先通過(guò)將玻璃基板浸入濃硫酸與過(guò)氧化氫的比例的取值范圍為4:1至6:1的第一SPM洗劑中去除有機(jī)物類沾污；再通過(guò)將玻璃基板浸入中性無(wú)機(jī)洗劑與堿性無(wú)機(jī)洗劑的比例的取值范圍為1:4至1:6的混合液中進(jìn)行超聲清洗可以去除玻璃基板表面較大的顆粒以及沾污；之后通過(guò)將所述玻璃基板浸入純水中進(jìn)行超聲清洗可以去除玻璃基板表面較小的顆粒；最終將玻璃基板提拉出純水以完成干燥脫水，從而全方面的清除玻璃基板表面的各種顆粒以及沾污。