一種涂膠臺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810892007.7 申請日 -
公開（公告）號 CN108745803A 公開（公告）日 2018-11-06
申請公布號 CN108745803A 申請公布日 2018-11-06
分類號 B05C13/02;B05C11/06;B05C11/10 分類 一般噴射或霧化；對表面涂覆液體或其他流體的一般方法〔2〕;
發(fā)明人 張誠;李偉;徐根;李翼 申請（專利權(quán)）人 湖南普照信息材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 湖南普照信息材料有限公司
地址 410205 湖南省長沙市岳麓區(qū)麓楓路40號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種涂膠臺，包括用于放置基板的涂膠平臺，馬達(dá)和排風(fēng)扇；所述馬達(dá)與所述涂膠平臺固定連接，且所述馬達(dá)用于驅(qū)動所述涂膠平臺沿所述涂膠平臺的周向方向旋轉(zhuǎn)；所述排風(fēng)扇位于所述涂膠平臺上方，且所述排風(fēng)扇的出風(fēng)口朝向所述涂膠平臺。上述馬達(dá)會帶動涂膠平臺沿周向旋轉(zhuǎn)，而風(fēng)扇在鋪展光刻膠時會向基板吹風(fēng)，從而在基板表面形成具有一定風(fēng)向的氣流，該氣流會給予光刻膠一個額外的推力，幫助光刻膠鋪展，從而減少在涂布光刻膠時由于光刻膠堆積所形成的邊框的寬度。