一種掩膜版玻璃基板的清洗方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810890472.7 申請日 -
公開（公告）號 CN109047160B 公開（公告）日 2021-03-09
申請公布號 CN109047160B 申請公布日 2021-03-09
分類號 B08B3/04(2006.01)I;B08B3/08(2006.01)I;B08B3/12(2006.01)I 分類 清潔;
發(fā)明人 李翼;李偉;徐根;張誠;周學文 申請（專利權）人 湖南普照信息材料有限公司
代理機構 北京集佳知識產權代理有限公司 代理人 羅滿
地址 410205湖南省長沙市岳麓區(qū)麓楓路40號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種掩膜版玻璃基板的清洗方法，首先通過將玻璃基板浸入濃硫酸與過氧化氫的比例的取值范圍為4:1至6:1的第一SPM洗劑中去除有機物類沾污；再通過將玻璃基板浸入中性無機洗劑與堿性無機洗劑的比例的取值范圍為1:4至1:6的混合液中進行超聲清洗可以去除玻璃基板表面較大的顆粒以及沾污；之后通過將所述玻璃基板浸入純水中進行超聲清洗可以去除玻璃基板表面較小的顆粒；最終將玻璃基板提拉出純水以完成干燥脫水，從而全方面的清除玻璃基板表面的各種顆粒以及沾污。??