一種激光防偽用掩膜版及其制作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201811511608.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN109856907A 公開(kāi)（公告）日 2019-06-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN109856907A 申請(qǐng)公布日 2019-06-07
分類(lèi)號(hào) G03F1/00（2012.01）I; G03F7/38（2006.01）I; G03F7/16（2006.01）I 分類(lèi) 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 李翼; 李偉; 張誠(chéng); 徐根 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 湖南普照信息材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 湖南普照信息材料有限公司
地址 410205 湖南省長(zhǎng)沙市岳麓區(qū)麓楓路40號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種激光防偽用掩膜版的制作方法，通過(guò)提供透明基板；在所述透明基板表面設(shè)置氮氧化鉻層；在所述氮氧化鉻層表面涂覆光刻膠，所述光刻膠的粘度大于等于50厘泊；對(duì)涂覆光刻膠后的透明基板進(jìn)行前烘處理，所述前烘處理為烘烤溫度持續(xù)上升的前烘處理，以得到光刻膠層的厚度為100000埃米至300000埃米，包括端點(diǎn)值的激光防偽用掩膜版。本發(fā)明通過(guò)使前烘處理中的溫度逐漸上升，使光刻膠內(nèi)部的熱量有時(shí)間擴(kuò)散到光刻膠外部，確保了烘烤中光刻膠各層溶劑揮發(fā)均勻，避免了現(xiàn)有技術(shù)中溫度直接升至前烘溫度導(dǎo)致光刻膠最外層最先干燥成殼，阻礙光刻膠內(nèi)部溶劑揮發(fā)的問(wèn)題。本發(fā)明還提供了一種具有上述有益效果的激光防偽用掩膜版。