一種晶棒轉(zhuǎn)移設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201620831540.9 申請日 -
公開（公告）號 CN205872128U 公開（公告）日 2017-01-11
申請公布號 CN205872128U 申請公布日 2017-01-11
分類號 B62B3/04(2006.01)I;B62B3/10(2006.01)I 分類 無軌陸用車輛;
發(fā)明人 胡均海 申請（專利權(quán)）人 浙江恒都光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 嘉興海創(chuàng)專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 鄭文濤
地址 314416 浙江省嘉興市海寧市袁花鎮(zhèn)袁溪路118號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種晶棒轉(zhuǎn)移設(shè)備，轉(zhuǎn)移車體上水平固定有定位板，在定位板上設(shè)置有多個定位孔，定位板的下方水平設(shè)置有支撐板，支撐板上表面與各定位孔正對的位置設(shè)置有支撐塊，支撐塊的上表面為支撐平面，在支撐板的下方設(shè)置有驅(qū)動機(jī)構(gòu)，支撐板移動到最高處時支撐平面與定位板的上表面相平，支撐板移動到最低處時支撐平面低于定位板的上表面；定位板或/和支撐板上固定有豎向設(shè)置的導(dǎo)向套筒，支撐板或/和定位板上固定有豎向設(shè)置的導(dǎo)向柱，導(dǎo)向柱與導(dǎo)向套筒活動套接，并在兩者之間設(shè)置減小摩擦力的滾珠。該設(shè)備既能對各晶棒形成定位防止晶棒在轉(zhuǎn)移過程中發(fā)生位移，也便于晶棒取放，并且支撐板的豎向移動也相對靈活順暢。