晶舟及擴(kuò)散設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110601926.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN113488382A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-10-08 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113488382A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-10-08 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/223（2006.01）I;H01L21/673（2006.01）I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 蔣新和;任宏志 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 北?；菘瓢雽?dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 深圳市百瑞專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 邢濤 |
| 地址 | 536000廣西壯族自治區(qū)北海市工業(yè)園區(qū)北海大道東延線336號(hào)廣西惠科科技有限公司16幢三樓301室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請(qǐng)公開(kāi)了一種晶舟及擴(kuò)散設(shè)備，包括：若干固定柱、固定板和承載結(jié)構(gòu)，所述固定板與若干所述固定柱連接；所述承載結(jié)構(gòu)設(shè)置有多個(gè)，多個(gè)所述承載結(jié)構(gòu)設(shè)置在每一所述固定柱上，若干所述固定柱通過(guò)各所述固定柱上對(duì)應(yīng)的所述承載結(jié)構(gòu)共同承載晶圓；其中，所述固定柱設(shè)有第一通孔，所述第一通孔有多個(gè)，所述第一通孔位于同一所述固定柱上相鄰兩個(gè)所述承載結(jié)構(gòu)之間。通過(guò)以上方式，本申請(qǐng)?jiān)黾託怏w與晶圓的接觸面積，改善晶圓表面與氣體反應(yīng)形成的鍍膜的均勻性。 |
