一種超結(jié)器件以及其拐角結(jié)構(gòu)的布局設(shè)計(jì)和制造工藝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410629307.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN105655384A 公開(kāi)（公告）日 2016-06-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN105655384A 申請(qǐng)公布日 2016-06-08
分類號(hào) H01L29/06(2006.01)I;H01L29/78(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 胡浩 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 成都星芯微電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 610200 四川省成都市雙流縣西南航空港經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)園內(nèi)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種超結(jié)器件的拐角結(jié)構(gòu)及采用該拐角結(jié)構(gòu)的超結(jié)器件，將拐角區(qū)域內(nèi)的長(zhǎng)條形的第二導(dǎo)電類型的摻雜圖案，根據(jù)拐角的邊界變化(由直線變成了曲線)，作出相應(yīng)的結(jié)構(gòu)圖案優(yōu)化調(diào)整，使在拐角區(qū)域內(nèi)的第一導(dǎo)電類型摻雜與第二導(dǎo)電類型摻雜的面積比例與普通元胞區(qū)域內(nèi)的比例幾乎相同，使第一導(dǎo)電類型雜質(zhì)電荷與第二導(dǎo)電類型雜質(zhì)的電荷互相平衡，從而使該超結(jié)器件在拐角處也能達(dá)到與普通元胞區(qū)幾乎相同的耐壓值。