一種用于清洗晶圓的夾緊裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022845241.X 申請日 -
公開（公告）號 CN214022501U 公開（公告）日 2021-08-24
申請公布號 CN214022501U 申請公布日 2021-08-24
分類號 B08B11/02（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 郭炳熙;周鐵軍;米艷嬌 申請（專利權(quán)）人 廣東先導先進材料股份有限公司
代理機構(gòu) 廣州三環(huán)專利商標代理有限公司 代理人 顏希文;黃華蓮
地址 511517廣東省清遠市高新區(qū)百嘉工業(yè)園27-9號B區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及晶圓技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種用于清洗晶圓的夾緊裝置，包括：第一環(huán)體；第二環(huán)體，其套設(shè)在第一環(huán)體的外部；驅(qū)動機構(gòu)，其用于驅(qū)動第二環(huán)體沿第二環(huán)體的軸向方向上移動；及多個支桿，支桿穿設(shè)于第一環(huán)體，且支桿的第一端與第二環(huán)體固定連接，支桿的第二端位于第一環(huán)體的內(nèi)圈中，支桿的第二端具有用于夾持晶圓側(cè)壁的夾持部。本實用新型將支桿穿過第一環(huán)體，利用第一環(huán)體作為支桿擺動的支點，當?shù)诙h(huán)體可以沿其軸向的方向上移動，帶動支桿的第一端隨第二環(huán)體移動，從而使支桿的第二端朝支桿的第一端移動方向的相反一側(cè)移動，進而調(diào)整多個支桿之間的間距，以使夾持部可以夾持不同規(guī)格的晶圓，使夾緊裝置具有通用性。