一種用于清洗晶圓的夾緊裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202022845241.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN214022501U | 公開（公告）日 | 2021-08-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN214022501U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-08-24 |
| 分類號(hào) | B08B11/02（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分類 | 清潔; |
| 發(fā)明人 | 郭炳熙;周鐵軍;米艷嬌 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 廣東先導(dǎo)先進(jìn)材料股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人 | 顏希文;黃華蓮 |
| 地址 | 511517廣東省清遠(yuǎn)市高新區(qū)百嘉工業(yè)園27-9號(hào)B區(qū) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及晶圓技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種用于清洗晶圓的夾緊裝置，包括：第一環(huán)體；第二環(huán)體，其套設(shè)在第一環(huán)體的外部；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其用于驅(qū)動(dòng)第二環(huán)體沿第二環(huán)體的軸向方向上移動(dòng)；及多個(gè)支桿，支桿穿設(shè)于第一環(huán)體，且支桿的第一端與第二環(huán)體固定連接，支桿的第二端位于第一環(huán)體的內(nèi)圈中，支桿的第二端具有用于夾持晶圓側(cè)壁的夾持部。本實(shí)用新型將支桿穿過第一環(huán)體，利用第一環(huán)體作為支桿擺動(dòng)的支點(diǎn)，當(dāng)?shù)诙h(huán)體可以沿其軸向的方向上移動(dòng)，帶動(dòng)支桿的第一端隨第二環(huán)體移動(dòng)，從而使支桿的第二端朝支桿的第一端移動(dòng)方向的相反一側(cè)移動(dòng)，進(jìn)而調(diào)整多個(gè)支桿之間的間距，以使夾持部可以夾持不同規(guī)格的晶圓，使夾緊裝置具有通用性。 |
