固定裝置及退火爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022149314.1 申請日 -
公開（公告）號 CN213680978U 公開（公告）日 2021-07-13
申請公布號 CN213680978U 申請公布日 2021-07-13
分類號 C30B33/02（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 唐勇;吳春龍;吳曉桂;劉火陽 申請（專利權）人 廣東先導先進材料股份有限公司
代理機構 北京五洲洋和知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 張向琨
地址 511517廣東省清遠市高新區(qū)百嘉工業(yè)園27-9號B區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開提供了一種固定裝置及退火爐。固定裝置用于對爐子上的溫度控制裝置的控溫熱電偶進行固定，固定裝置包括支撐板和連接組件，支撐板固定在爐子的外側，連接組件的一端固定連接于支撐板的遠離爐子的一側，另一端用于固定控溫熱電偶，其中，連接組件能夠沿控溫熱電偶的延伸方向移動以使溫度控制裝置根據(jù)控溫熱電偶伸入爐內(nèi)的深度來調(diào)節(jié)爐內(nèi)的溫度。本公開的固定裝置將控溫熱電偶固定在爐子上，有效地防止了控溫熱電偶相對爐子晃動，提高了溫度調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)退火爐的溫度的穩(wěn)定性和準確性。