一種半導(dǎo)體晶棒切割卡具

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021776782.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN214026498U 公開(kāi)(公告)日 2021-08-24
申請(qǐng)公布號(hào) CN214026498U 申請(qǐng)公布日 2021-08-24
分類(lèi)號(hào) B28D7/04(2006.01)I;B28D5/02(2006.01)I 分類(lèi) 加工水泥、黏土或石料;
發(fā)明人 阮永權(quán);劉火陽(yáng);劉建忠 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 廣東先導(dǎo)先進(jìn)材料股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 511517廣東省清遠(yuǎn)市高新區(qū)百嘉工業(yè)園27-9號(hào)B區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型揭示了一種半導(dǎo)體晶棒切割卡具,包括第一卡套和第二卡套,第一卡套和第二卡套分別設(shè)有供晶棒插入的第一收容腔和第二收容腔,第一卡套和第二卡套之間通過(guò)卡套連接件固定連接,第一卡套遠(yuǎn)離第二卡套的一側(cè)設(shè)有止擋板,止擋板遠(yuǎn)離第一卡套的一側(cè)設(shè)有手柄。本實(shí)用新型提出一種半導(dǎo)體晶棒切割卡具,通過(guò)在第一卡套和第二卡套分別設(shè)有供晶棒插入的第一收容腔和第二收容腔,用戶首先通過(guò)手柄將晶棒切割卡具安裝在內(nèi)圓切片機(jī)上,然后將已設(shè)置好預(yù)加工槽的晶棒插入第一收容腔和第二收容腔并通過(guò)固定螺栓固定晶棒位置,最后調(diào)整內(nèi)圓切片機(jī)上的內(nèi)圓鋸刀片的位置使其對(duì)準(zhǔn)晶棒的預(yù)加工槽并進(jìn)行切割,即可得到規(guī)則圓柱體形狀的晶圓,過(guò)程非常簡(jiǎn)單。