一種半導(dǎo)體烘箱氮?dú)庹{(diào)節(jié)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201510237039.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN104896908B 公開（公告）日 2020-03-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN104896908B 申請(qǐng)公布日 2020-03-06
分類號(hào) F26B21/14;H01L21/67;F16K3/02;F16K3/32 分類 干燥;
發(fā)明人 彭勇;王明輝;李宏圖;趙從壽;陶佩;周根強(qiáng);石永洪 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 池州華宇電子科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州市指南針專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 池州華鈦半導(dǎo)體有限公司;池州華宇電子科技有限公司
地址 247099 安徽省池州市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)電子信息產(chǎn)業(yè)園10號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體烘箱氮?dú)庹{(diào)節(jié)裝置，包括箱體、前門、支架、內(nèi)膽、進(jìn)氣接口、氮?dú)庹{(diào)節(jié)閥、進(jìn)氣管、出氣接口、出氣管、風(fēng)機(jī)、托盤，工作時(shí)，直線電機(jī)通過絲杠帶動(dòng)閥芯做直線運(yùn)動(dòng)，使得氮?dú)馔ㄟ^氮?dú)庹{(diào)節(jié)閥進(jìn)入內(nèi)膽與箱體之間的空腔內(nèi)，由于內(nèi)膽設(shè)置有氮?dú)獯等肟?，氮?dú)馔ㄟ^氮?dú)獯等肟走M(jìn)入內(nèi)膽內(nèi)部，同時(shí)風(fēng)機(jī)工作，使得氮?dú)庠趦?nèi)膽內(nèi)部由下而上經(jīng)過每個(gè)半導(dǎo)體后被排出箱體。該裝置結(jié)構(gòu)簡單，調(diào)節(jié)直線電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)角度可以調(diào)劑氮?dú)膺M(jìn)氣量，從而實(shí)現(xiàn)氮?dú)膺M(jìn)氣量調(diào)節(jié)，均勻分布在內(nèi)膽內(nèi)壁左右兩側(cè)的氮?dú)獯等肟资沟脙?nèi)膽內(nèi)氮?dú)饩鶆蚍植?，有效保護(hù)半導(dǎo)體，大大提高成品合格率，提高經(jīng)濟(jì)效益。