碳化硅微粉回收的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200610058746.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN101033066A 公開(kāi)（公告）日 2007-09-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN101033066A 申請(qǐng)公布日 2007-09-12
分類號(hào) C01B31/36(2006.01) 分類 無(wú)機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 張捷平 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 華研精粹科技（北京）股份公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 100083北京市海淀區(qū)學(xué)院路丁－11號(hào)西二樓1301室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種碳化硅微粉回收的方法，其特征在于將硅晶片加工工藝中的線切削廢砂漿進(jìn)行多級(jí)處理，包括如下步驟：固液分離、碳化硅粒度分級(jí)、碳化硅提純、微粉干燥、分散篩松。本發(fā)明的方法使回收的碳化硅微粉達(dá)到與全新碳化硅微粉相同或相近的性能指標(biāo)，并滿足硅晶片工序的使用要求，達(dá)到完全替代新料的回收方法，通過(guò)該方法可以實(shí)現(xiàn)同一批原料多次回收循環(huán)再利用的目的，不僅最大限度地提高了原材料的使用效率，降低了硅晶片的生產(chǎn)成本，而且避免了廢砂漿排放給環(huán)境造成的污染。