切削懸浮液回收的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200610058747.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN101032806A 公開(kāi)（公告）日 2007-09-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN101032806A 申請(qǐng)公布日 2007-09-12
分類號(hào) B24C9/00(2006.01) 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 張捷平 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 華研精粹科技（北京）股份公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 100083北京市海淀區(qū)學(xué)院路?。?1號(hào)西二樓1301室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種切削廢懸浮液回收的方法，其特征在于將硅晶片加工工藝中的線切削廢砂漿進(jìn)行多級(jí)處理，包括如下步驟：固液分離、懸浮液的初級(jí)過(guò)濾、懸浮液的精濾、懸浮液的濃縮干燥。本發(fā)明的方法使回收的聚乙二醇(PEG)基或油基懸浮液達(dá)到與全新原料相同或相近的性能指標(biāo)，并滿足硅晶切片工序的使用要求，可完全替代新料的回收方法，通過(guò)該方法可以實(shí)現(xiàn)同一批料多次回收循環(huán)再利用的目的，不僅最大限度地提高了原材料的使用效率，降低了硅片的生產(chǎn)成本，而且避免了廢砂漿排放給環(huán)境造成的污染。