一種壓力傳感器芯片及壓力傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110397709.X 申請日 -
公開（公告）號 CN112798158A 公開（公告）日 2021-05-14
申請公布號 CN112798158A 申請公布日 2021-05-14
分類號 G01L1/18 分類 測量；測試;
發(fā)明人 費(fèi)友健;賈永平 申請（專利權(quán)）人 江西新力傳感科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京清亦華知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 何世磊
地址 330000 江西省南昌市新建區(qū)望城新區(qū)璜溪大道688號2棟1層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種壓力傳感器芯片及壓力傳感器，該芯片包括：襯底；壓阻電路，設(shè)于襯底的上表面，包括壓敏電阻及與壓敏電阻連接的導(dǎo)電電極；第一支座，層疊于襯底的上表面，設(shè)有凹槽；第一絕緣介質(zhì)層，設(shè)于襯底和第一支座之間，凹槽被第一絕緣介質(zhì)層密封形成為真空腔；調(diào)制電路，調(diào)制電路與導(dǎo)電電極連接；輸出電極，其一端連接調(diào)制電路、另一端設(shè)于壓力傳感器芯片的外部。本發(fā)明通過將用于感應(yīng)壓力信號的壓阻電路和用于對壓力信號進(jìn)行調(diào)制的調(diào)制電路通過特定方式集成到同一芯片當(dāng)中，該芯片同時(shí)具有MEMS芯片與調(diào)制芯片的功能，這樣壓力傳感器就可以只需布置一個(gè)芯片，可以進(jìn)一步縮小傳感器的尺寸和成本、并提高可靠性。