一種高階HDI板對位方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510694601.1 申請日 -
公開（公告）號 CN105392305B 公開（公告）日 2018-02-13
申請公布號 CN105392305B 申請公布日 2018-02-13
分類號 H05K3/46 分類 其他類目不包含的電技術(shù);
發(fā)明人 王平;張晃初;曾祥福 申請（專利權(quán)）人 南通勝宏科技有限公司
代理機構(gòu) 惠州創(chuàng)聯(lián)專利代理事務所（普通合伙） 代理人 韓淑英
地址 226100 江蘇省南通市海門經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)廣州路999號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種高階HDI板對位方法，該方法包括如下步驟：預先在內(nèi)層圖形轉(zhuǎn)移時在內(nèi)層設(shè)計相對應的PAD；以該內(nèi)層的PAD為基準，在表層激光燒蝕出內(nèi)層PAD靶標，以及生產(chǎn)成型區(qū)內(nèi)的盲孔；圖形轉(zhuǎn)移時，在激光鉆孔加工時在板邊設(shè)計多個激光環(huán)定位，采用LDI曝光機通過純盲孔進行對位。本發(fā)明激光鉆孔采用內(nèi)層pad對位及圖形轉(zhuǎn)移采用純盲孔對位方式，對位精度高，整體的對準度可控制50μm以內(nèi)。