防探針脫落的薄膜探針頭及薄膜探針卡

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202220033173.3 申請日 -
公開（公告）號 CN217007577U 公開（公告）日 2022-07-19
申請公布號 CN217007577U 申請公布日 2022-07-19
分類號 G01R31/26（2014.01）I;G01R1/073（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 于海超;趙梁玉;周明 申請（專利權(quán)）人 強一半導(dǎo)體（蘇州）股份有限公司
代理機構(gòu) 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 -
地址 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)東長路18號39幢2樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種防探針脫落的薄膜探針頭及薄膜探針卡，該防探針脫落的薄膜探針頭，包括提供一作用面（311）的支撐體（31）、覆在所述作用面（311）上的薄膜（32）、設(shè)置于薄膜（32）內(nèi)的互連線（34）以及突出于薄膜（32）表面的探針（33）；所述探針（33）包括針座（331）和針尖（332）；其特征在于：所述針座（331）的外周上突出有一卡嵌阻擋部（3311），該卡嵌阻擋部（3311）埋嵌于薄膜（32）內(nèi)，其卡嵌阻擋部（3311）底面至薄膜（32）表面具有一距離（A）。本實用新型有效防止了加工過程和使用過程中探針與薄膜層相分離（即探針脫落）。