一種用于多通道探針卡的電性測試裝置及測試方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210430093.6 申請日 -
公開（公告）號 CN114740334A 公開（公告）日 2022-07-12
申請公布號 CN114740334A 申請公布日 2022-07-12
分類號 G01R31/28（2006.01）I;G01R1/04（2006.01）I;G01R1/073（2006.01）I;G01R27/02（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 蘇鵬;梁宇峰;宋海永 申請（專利權）人 強一半導體（蘇州）股份有限公司
代理機構 蘇州創(chuàng)元專利商標事務所有限公司 代理人 -
地址 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)東長路18號39幢2樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種用于多通道探針卡的電性測試裝置及測試方法，該裝置包括機臺，該機臺上安裝有待測探針卡，待測探針卡包括針腳和PAD點；待測探針卡下方設有金屬導電面；待測探針卡上方設有母板，母板上設有多個觸點；可拆卸地設有通道轉接板，通道轉接板上有第一轉接區(qū)域和第二轉接區(qū)域，分別設有第一轉接點、第二轉接點；機臺上設有第一機械手和第二機械手，分別設有第一采集器、第二采集器，第一采集器和第二采集器的下表面均設有多個采集點；金屬導電面在上表面可拆卸地設有一絕緣板；還包括歐姆表。該測試裝置及測試方法能夠在采集器采集點數(shù)量較少的情況下，實現(xiàn)對較多通道數(shù)量探針卡的電性檢測，節(jié)約了設備成本和人力成本。