一種Cobra探針插針裝置及其插針方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210107115.5 申請日 -
公開（公告）號 CN114527369A 公開（公告）日 2022-05-24
申請公布號 CN114527369A 申請公布日 2022-05-24
分類號 G01R31/28（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 于海超;徐興光;周培清 申請（專利權(quán)）人 強(qiáng)一半導(dǎo)體（蘇州）股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 -
地址 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)東長路18號39幢2樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種Cobra探針插針裝置及其插針方法；插針裝置包括上固定結(jié)構(gòu)、下固定結(jié)構(gòu)、第一空間位移機(jī)構(gòu)、第二空間位移機(jī)構(gòu)、定位導(dǎo)向結(jié)構(gòu)、視覺檢測結(jié)構(gòu)；所述插針裝置被配置成在插好探針的所述下蓋板位于所述第二工作位置、所述上蓋板位于所述第一初始位置時，所述上蓋板上的上探針孔與所述探針的針尾一一垂直對應(yīng)，所述上蓋板上的導(dǎo)向孔與所述下固定結(jié)構(gòu)上的導(dǎo)向柱一一垂直對應(yīng)。本發(fā)明依靠結(jié)構(gòu)簡單但是可靠性、精度極高的機(jī)械結(jié)構(gòu)，來實(shí)現(xiàn)了Cobra探針在插針前能確保上蓋板、下蓋板穩(wěn)定、無偏移得分開，不會發(fā)生彎針、重復(fù)對位、效率低下等問題，成本低、精度高，確保Cobra探針這種具有特殊結(jié)構(gòu)探針的插針成品率，適用性廣。