一種垂直式MEMS彎形探針插針裝置及其插針方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210107716.6 申請日 -
公開（公告）號 CN114487781A 公開（公告）日 2022-05-13
申請公布號 CN114487781A 申請公布日 2022-05-13
分類號 G01R31/28（2006.01）I;G01R1/067（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 于海超;徐興光;周培清 申請（專利權）人 強一半導體（蘇州）股份有限公司
代理機構 蘇州創(chuàng)元專利商標事務所有限公司 代理人 -
地址 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)東長路18號39幢2樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種垂直式MEMS彎形探針插針裝置及其插針方法；插針裝置包括上固定結構、下固定結構、平移結構、傾斜結構、定位導向結構視覺檢測結構，插針裝置被配置成，在工作位置、所述傾斜機構帶動所述下固定結構傾斜時，探針的針尾在所述下探針孔的空間內(nèi)具有θ軸、X軸、Y軸上傾斜旋轉(zhuǎn)的自由度，所述上蓋板上的上探針孔與下蓋板上的下探針孔一一垂直對應，所述上蓋板上的導向孔與所述下固定結構上的導向柱一一垂直對應。本發(fā)明依靠結構簡單但是可靠性、精度極高的機械結構，來實現(xiàn)了插針能確保上、下蓋板穩(wěn)定、無偏移得分開，不會發(fā)生彎針、重復對位、效率低下等問題，成本低、精度高，確保MEMS彎形探針這種具有特殊結構探針的插針成品率。