一種特殊定制形狀晶圓鍍膜夾具
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202123194141.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN215560642U | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-01-18 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN215560642U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-01-18 |
| 分類(lèi)號(hào) | C23C14/50（2006.01）I;C23C14/34（2006.01）I | 分類(lèi) | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 王吉;余啟川;王偉;王剛 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 美迪凱（浙江）智能光電科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 杭州華知專(zhuān)利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 張德寶 |
| 地址 | 314400浙江省嘉興市海寧市長(zhǎng)安鎮(zhèn)（高新區(qū)）新潮路15號(hào)4號(hào)廠房 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種特殊定制形狀晶圓鍍膜夾具，包括夾具本體，夾具本體外沿為圓形，夾具本體內(nèi)設(shè)置有方形開(kāi)口，方形開(kāi)口處正面向內(nèi)設(shè)置有凹臺(tái)，凹臺(tái)上下側(cè)的夾具本體上開(kāi)設(shè)有調(diào)節(jié)槽，調(diào)節(jié)槽內(nèi)設(shè)置有可沿調(diào)節(jié)槽移動(dòng)的調(diào)節(jié)卡扣，調(diào)節(jié)卡扣沿凹臺(tái)上下側(cè)位置調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)卡扣上開(kāi)設(shè)有腰圓孔，調(diào)節(jié)槽內(nèi)設(shè)置有螺紋孔，螺紋孔上螺紋連接有旋鈕，旋鈕沿腰圓孔調(diào)節(jié)緊固調(diào)節(jié)卡扣。本實(shí)用新型提供了一種特殊定制形狀晶圓鍍膜夾具，便于特殊定制的方形晶圓在原有真空濺射鍍膜機(jī)上完成鍍膜工藝，無(wú)需重新定制真空濺射鍍膜機(jī)，節(jié)約成本，通過(guò)調(diào)節(jié)卡扣固定晶圓，保證其在鍍膜過(guò)程中不發(fā)生松動(dòng)，影響鍍膜質(zhì)量，且調(diào)節(jié)卡扣可在一定范圍尺寸內(nèi)調(diào)節(jié)，適用范圍廣。 |
