一種電子級四氟化碳的制備系統(tǒng)及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911365745.7 申請日 -
公開（公告）號 CN111039749B 公開（公告）日 2022-06-07
申請公布號 CN111039749B 申請公布日 2022-06-07
分類號 C07C19/08（2006.01）I;C07C17/007（2006.01）I;C07C17/38（2006.01）I;C07C17/383（2006.01）I;C07C17/389（2006.01）I;C07C17/395（2006.01）I;C25B1/245（2021.01）I;C25B15/00（2006.01）I;C25B15/027（2021.01）I;C25B15/029（2021.01）I 分類 有機(jī)化學(xué)〔2〕;
發(fā)明人 曾熙;陳施華;賴金香;李嘉磊;華小林;張朝春;黃華華 申請（專利權(quán)）人 福建德爾科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南昌金軒知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 364200福建省龍巖市上杭縣蛟洋鎮(zhèn)蛟洋工業(yè)集中區(qū)工業(yè)路6號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種電子級四氟化碳的制備系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括氟氣源、反應(yīng)裝置和純化系統(tǒng)，所述氟氣源密封連接反應(yīng)裝置，所述反應(yīng)裝置密封連接純化系統(tǒng)。所述氟氣源包括電解槽、低溫除塵器1、冷凝器2和氟氣緩沖罐3，所述電解槽有自動(dòng)化系統(tǒng)，加料方式為液位聯(lián)鎖自動(dòng)加料，所述冷凝器底端設(shè)有氟化氫放料裝置，所述反應(yīng)裝置包括碳反應(yīng)器、除塵裝置，其中碳反應(yīng)器還包括二級反應(yīng)器。本發(fā)明還提供了一種電子級四氟化碳的制備方法，利用上述的系統(tǒng)制備四氟化碳，氟氣利用率98％以上。