高純?nèi)戎须s質(zhì)定量、定性裝置及方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110142786.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN112946126B 公開(kāi)(公告)日 2022-07-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN112946126B 申請(qǐng)公布日 2022-07-15
分類(lèi)號(hào) G01N30/02(2006.01)I;G01N30/20(2006.01)I;G01N30/66(2006.01)I;G01N30/72(2006.01)I 分類(lèi) 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 李紀(jì)明;楊建中;陳施華;華小林;杜勇 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 福建德?tīng)柨萍脊煞萦邢薰?/a>
代理機(jī)構(gòu) 廈門(mén)原創(chuàng)專(zhuān)利事務(wù)所(普通合伙) 代理人 -
地址 364000福建省龍巖市上杭縣蛟洋鎮(zhèn)蛟洋工業(yè)集中區(qū)工業(yè)路6號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種高純?nèi)戎须s質(zhì)定量、定性裝置及方法。裝置包括:切換單元,包括進(jìn)氣管道、出氣管道、六通閥、第一四通閥及第二四通閥,六通閥包括a閥門(mén)至f閥門(mén),第一四通閥包括g閥門(mén)、h閥門(mén)、i閥門(mén)和j閥門(mén),第二四通閥包括k閥門(mén)、l閥門(mén)、m閥門(mén)和n閥門(mén);進(jìn)氣管道與出氣管道分別連接a閥門(mén)和b閥門(mén);定量環(huán),兩端分別連接c閥門(mén)和f閥門(mén);載氣單元,分別連接e閥門(mén)、i閥門(mén)和m閥門(mén);分離單元,包括兩端分別連接d閥門(mén)和g閥門(mén)的氟醚油柱、兩端分別連接j閥門(mén)和k閥門(mén)的第一分子篩、與l閥門(mén)連接的第二分子篩;分析單元,包括與h閥門(mén)連接的第一TCD、連接于第一分子篩與k閥門(mén)之間的第二TCD、連接于第二分子篩的PDD。